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簡(jiǎn)要描述:國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B,穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量,采用金剛石探針,無(wú)畸變的觀察樣品區(qū),實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域,突破三個(gè)核心技術(shù),國(guó)內(nèi)研發(fā)生產(chǎn),便于售后服務(wù)。【支持定制臺(tái)階儀】
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品描述
國(guó)產(chǎn)手動(dòng)臺(tái)階儀JS10B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測(cè)量。JS10B提供一個(gè)彩色攝像頭對(duì)樣品和針尖同時(shí)成像,可無(wú)畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時(shí)探針掃描時(shí)可實(shí)時(shí)觀察掃描區(qū)域。
手動(dòng)臺(tái)階儀 JS10B關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
裝載晶圓尺寸:150mm\200mm\300mm
臺(tái)階高度重復(fù)性 :≤0.5nm(1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)
臺(tái)階測(cè)量高度:≤80um
樣品平臺(tái)行程:可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ)電動(dòng)控制
單次掃描距離:≤55mm
探針壓力:0.5~50mg
探針直徑:≥2um 探針1個(gè),≤1um 探針1個(gè)
• JS10B技術(shù)參數(shù)
• 配套軟件介紹
• 應(yīng)用案例
測(cè)金屬片
測(cè)電極
測(cè)光刻膠
測(cè)膜厚
測(cè)標(biāo)樣
測(cè)標(biāo)樣
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