PicoFemto原位掃描電鏡光電力一體化系統(tǒng)，集成了掃描探針控制單元，可在三維空間內(nèi)對(duì)電學(xué)探針與光纖探針進(jìn)行亞納米級(jí)別精度的操縱與定位。通過電學(xué)探針施加電場(chǎng)，通過光纖施加光場(chǎng)，對(duì)單個(gè)納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操控并進(jìn)行電學(xué)性質(zhì)、光電性質(zhì)的測(cè)量。并可在物性測(cè)量的同時(shí)，動(dòng)態(tài)、高分辨地對(duì)樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價(jià)態(tài)進(jìn)行綜合表征，大大地?cái)U(kuò)展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。

• 性能指標(biāo)

電學(xué)測(cè)量指標(biāo)：

△ 包含一個(gè)電流電壓測(cè)試單元；

△ 電流測(cè)量最大±1.5 A，最小±100 fA；

△ 電壓輸出最大±200 V，最小±100 nV；

△ 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。

掃描探針操作指標(biāo)：

△ 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

△ 細(xì)調(diào)范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

△ 細(xì)調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纖指標(biāo)：

△ 光纖外徑250 um，保證電鏡系統(tǒng)真空指標(biāo)；

△ 可選光纖探針、平頭光纖、光纖透鏡；

△ 可選SMA接頭、FC接頭。

力學(xué)傳感器指標(biāo)：

△ 最大載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

△ 力測(cè)量實(shí)測(cè)噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；

△ 力測(cè)量實(shí)測(cè)分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN最大載荷時(shí)）；

△ 自動(dòng)測(cè)量力-距離曲線，自動(dòng)保存